超凈工作臺(tái)的凈化離不開HEPA高效過(guò)濾網(wǎng)

   隨著現(xiàn)代工業(yè)的崛起，越來(lái)越多環(huán)境都開始要求無(wú)塵(Clean)無(wú)菌(意思：沒(méi)有活菌)，做為無(wú)塵無(wú)菌空間的**典型代表-超凈工作(gōng zuò)臺(tái)的的舞臺(tái)也就越來(lái)越大了。凈化工作臺(tái)用途：廣泛適用于醫(yī)藥衛(wèi)生、生物制藥、食品、醫(yī)學(xué)科學(xué)實(shí)驗(yàn)、光學(xué)、電子、無(wú)菌室實(shí)驗(yàn)、無(wú)菌微生物檢驗(yàn)、植物組培接種等需要局部潔凈無(wú)菌工作環(huán)境的科研和生產(chǎn)部門。也可連接成裝配生產(chǎn)線具有低噪聲、可移動(dòng)性等優(yōu)點(diǎn)。

   空氣(Basin air)凈化的產(chǎn)生：空氣經(jīng)過(guò)過(guò)濾(filter)的生產(chǎn)環(huán)境**先被航空航天工業(yè)使用(use)。即使一個(gè)極其微小的缺陷都可造成衛(wèi)星工作失誤，因此，美**航空航天中心和其服務(wù)商們建造了帶有過(guò)濾天花板夾層和過(guò)濾墻體的車間。而且**創(chuàng)了許多基本的污染控制理念，其中包括從工作人員(personnel)潔凈服到潔凈室使用物的管理(guǎn lǐ)方法。

   半導(dǎo)體工業(yè)采用了許多這方面的技術(shù)(technology)。然而一個(gè)主要的問(wèn)題是當(dāng)從小加工車間擴(kuò)建為有更多工人工作的大型車間后，很難保持其固有的潔凈度。早期半導(dǎo)體工業(yè)把帶過(guò)濾天花板夾層和墻體的方法(method)演化為超凈工作臺(tái)。這個(gè)主要是把空氣過(guò)濾器裝在單個(gè)工作臺(tái)上，并使用無(wú)脫落的物質(zhì)。在超凈工作臺(tái)以外，晶圓被裝在密封的盒子中儲(chǔ)存、運(yùn)輸。

   在大型車間中按順序排列的超凈工作臺(tái)組成加工區(qū)，使晶圓依工藝次序經(jīng)過(guò)而不從露于空氣中。凈化工作臺(tái)的原理：潔凈環(huán)境是在特定的空間內(nèi)，潔凈空氣(進(jìn)濾空氣)按設(shè)定的方向流動(dòng)而形成的。以氣流方向來(lái)分，現(xiàn)有的超凈工作臺(tái)可分為垂直式，由內(nèi)向外式以及側(cè)向式。超凈工作臺(tái)的過(guò)濾器是一種高效顆粒搜集過(guò)濾器（高效過(guò)濾網(wǎng)（Filter mesh））。這些過(guò)濾器是由含許多小孔，并按手風(fēng)琴琴葉折疊的脆性纖維(fiber)組成，由于高密度（單位:g/cm3或kg/m3)的小孔與大面積的過(guò)濾層，使得大量的空氣低速流過(guò)。由于低速空氣可避免(avoid)產(chǎn)生空氣流(airflow)，有利于工作臺(tái)的潔凈度，并且對(duì)于操作控制員而言，在舒適的環(huán)境中工作也是必要的。典型的空氣流量6為每分鐘90到100英寸。高效過(guò)濾網(wǎng)可達(dá)到99.99%或更高的過(guò)濾效率，并可用于三種凈化方法(method)中。

  一般來(lái)說(shuō)，HEPA高效（指效能高的）過(guò)濾(filter)網(wǎng)裝于超凈工作臺(tái)頂部。超凈工作臺(tái)是為了適應(yīng)現(xiàn)代化工業(yè)、光電產(chǎn)業(yè)、生物制藥以及科研試驗(yàn)等**域?qū)植抗ぷ鲄^(qū)域潔凈度的需求而設(shè)計(jì)的?？諝庥娠L(fēng)扇吸入先通過(guò)前置過(guò)濾器，再通過(guò)HEPA高效過(guò)濾網(wǎng)(Filter)，并以均勻平行的方式方法流出，在工作臺(tái)表面改變方向(direction)，流出工作臺(tái)。安裝(installation)檔板可控制晶圓表面空氣流動(dòng)方向，通常這種方式稱為空氣層流立式式（VLF）超凈工作臺(tái)，它是由空氣流的方向命名的。

  有些超凈工作(gōng zuò)臺(tái)則把HEPA高效（指效能高的）過(guò)濾(filter)網(wǎng)裝于工作臺(tái)后部，這種方式被稱為空氣(Basin air)層流平行（HLF）式超凈工作臺(tái)。

  不管是哪種類型的超凈工作臺(tái)，都離不開使用(use)HEPA高效過(guò)濾(filter)網(wǎng)，可以毫不夸張地說(shuō)：沒(méi)有了高效過(guò)濾網(wǎng)（Filter mesh），超凈工作臺(tái)也就達(dá)不到其凈化要求。